事業・プロジェクト概要

小型・高機能で省エネ性に優れた高付加価値部品の製造を可能とするMEMS※1技術に対し、我が国製造業を支える新たな基盤技術としての期待が高まり、平成15年度からMEMSプロジェクトにて製造技術の開発を進めています。
　本プロジェクトでは、多岐にわたる分野の技術者やMEMSプロセスに精通していない技術者が機構の解析や製造プロセスのシミュレーションおよび最終機能の確認評価まで一連の解析を行うことができる支援システムを開発します。これにより、多くの技術者がMEMS分野に抵抗なく参加することでMEMS分野の裾野が広がり、解析精度の向上によりプロトタイプの試作回数も削減されてアイディアや着想が早く実現するなどMEMS産業の振興及び発展が期待されます。

• 1 MEMS：微小電気機械システム（Micro Electro Mechanical Systems）
• 2 MEMS-ONE：Open Network Engineering System for MEMS

短期的アウトカム概要（6年間の追跡調査により把握した状況）

■追跡対象企業のPJ終了後6年目のステージ状況

対象企業数：3社

• 上市：2
• 製品化：0
• 研究・開発を継続中：0
• 中止・中断：1

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