人と共に進化する次世代人工知能に関する技術開発事業41図：本事業開発の概要とサブプロジェクトとの関係性 図：本事業開発の概要とサブプロジェクトとの関係性41人と共に進化する次世代人工知能に関する技術開発事業取組内容 取組内容①高速高精度結晶成⻑AIの構築① 高速高精度結晶成長AIの構築シミュレーションの高速モデル化を目指し、結晶成長のモデルシミュレーションの高速モデル化を目指し、結晶成化を行い、モデルにフィッティングパラメータを組み込んで、実際長のモデル化を行い、モデルにフィッティングパラの実験結果と比較し「まさに目の前にある装置を再現するモメータを組み込んで、実際の実験結果と比較し「まデル」を実現する。さに目の前にある装置を再現するモデル」を実現する。②オペレータの意図に基づく目的関数構築空間分布を代表的な複数のパラメータで表す技術を空間分布を代表的な複数のパラメータで表す技術を開発し、開発し、オペレータの判断を完全に行列で表すことオペレータの判断を完全に行列で表すことで、多くの内部状で、多くの内部状態の例をオペレータに提示し、オ態の例をオペレータに提示し、オペレータ判断データで学習さペレータ判断データで学習さることで、AIモデルをることで、AIモデルを構築させる。構築させる。③意図を反映したパラメータの最適化③ 意図を反映したパラメータの最適化制御誤差、およびAIモデルの誤差の両方を考慮した最適化制御誤差、およびAIモデルの誤差の両方を考慮したを行い、一連のシステム化をする。また、それらをSiC溶液成最適化を行い、一連のシステム化をする。また、それらをSiC溶液成長実験とGaN気相成長実験を通し長実験とGaN気相成長実験を通してシステムの有効性の評てシステムの有効性の評価を行う。価を行う。次世代半導体を合成する結晶成長プロセスなどの開発は、とても複雑で開発に時間がかかる。また、研究者のセンスがカギとなる。本事業では、機械学習技術を駆使し素材プロセスの高速高精度モデルを構築し、そのモデルを用いてオペレータが疑似的実験を行うことで、オペレータの判断を目的関数化し、それによりプロセスの最適化を行うためのシステムを構築する。さらに、これらのシステムを実際のプロセス装置と連携することで、実際に素材開発を行う。本研究では、素材プロセスの例として、GaNやSiCといった次世代半導体結晶成長について、システム開発と高品質結晶成長を実現する。② オペレータの意図に基づく目的関数構築①高速高精度結晶成⻑AIモデルの構築③意図を反映した装置制御パラメータの最適化技術の開発技術優位性 技術優位性オペレータが経験的に感じ取っている最適な状態を、■ オペレータが経験的に感じ取っている最適な状態を、一対比較と潜在空間を用いた手法で明示して、スコ一対比較と潜在空間を用いた手法で明示して、スコアリングする。これにより、数値化しずらい状態を明示アリングする。これにより、数値化しずらい状態を的に表現することができる。明示的に表現することができる。数値化しづらかった状態を潜在空間上で数値として■ 数値化しづらかった状態を潜在空間上で数値として表せるようになることから、最適化手法を用いて、その表せるようになることから、最適化手法を用いて、状態を実現する実験パラメータを求めることができる。その状態を実現する実験パラメータを求めることがさらに、潜在変数の意味を明らかにすることで、オペレできる。ータの判断などの意味付けや、ノウハウの継承なども可■ さらに、潜在変数の意味を明らかにすることで、オ能となる。ペレータの判断などの意味付けや、ノウハウの継承オペレータの判断を逐次数値化することで、例えば、なども可能となる。試行錯誤を行うときの、結果とオペレータの判断の変■ オペレータの判断を逐次数値化することで、例えば、化なども明示化できる。これにより、試行錯誤の過程試行錯誤を行うときの、結果とオペレータの判断のをも、将来的にはモデル化が可能となる。変化なども明示化できる。これにより、試行錯誤の過程をも、将来的にはモデル化が可能となる。名古屋大学／産業技術総合研究所／理化学研究所／アイスクリスタル（株）名古屋大学／名古屋工業大学／産業技術総合研究所／理化学研究所／アイスクリスタル（株）次世代半導体を合成する結晶成長プロセスなどの開発は、とても複雑で開発に時間がかかる。また、研究者のセンスがカギとなる。本事業では、機械学習技術を駆使し素材プロセスの高速高精度モデルを構築し、そのモデルを用いてオペレータが疑似的実験を行うことで、オペレータの判断を目的関数化し、それによりプロセスの最適化を行うためのシステムを構築する。さらに、これらのシステムを実際のプロセス装置と連携することで、実際に素材開発を行う。本研究では、素材プロセスの例として、GaNやSiCといった次世代半導体結晶成長について、システム開発と高品質結晶成長を実現する。②オペレータの意図に基づく目的関数構築技術の開発研究開発テーマ紹介AIとオペレータの『意味』を介したコミュニケーションによる結晶成長技術開発研究開発テーマ紹介AIとオペレータの『意味』を介したコミュニケーションによる結晶成⻑技術開発
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