成果報告書詳細
管理番号100013448
タイトル平成19年度成果報告書 平成19年度採択産業技術研究助成事業 07A23004d 高スピン分極材料を用いた高出力磁気利用センサの開発 平成19年度中間
公開日2009/3/27
報告書年度2007 - 2007
委託先名国立大学法人東北大学手束展規
プロジェクト番号P00041
部署名研究開発推進部
和文要約Co2FeAl0.5Si0.5,Co2Fe0.5Ti0.5Ga,Co2Ti0.5Mn0.5Ga,Co2Ti0.5Mn0.5AlのCo基フルホイスラー合金について,その構造と磁気特性について調べた.高い規則度の得られたCo2Ti0.5Mn0.5Al,Co2FeAl0.5Si0.5,について,それを電極とするTMR素子を作製し,その磁気抵抗効果について,実験を行った.Co2Ti0.5Mn0.5Alをスパッタ法により作製したところ,600℃以上の熱処理温度でL21構造を有することが分かった.Co2Ti0.5Mn0.5Alを電極とするTMR素子を作製しその磁気抵抗効果を測定した結果,1%以下のMR比しか得られなかった.Co2FeAl0.5Si0.5をMBE法で作製し,規則度や磁気特性を調べた結果,スパッタ装置のそれらとほぼ同等であった.MBE法で作製したCo2FeAl0.5Si0.5を電極とするTMR素子の磁気抵抗比は,スパッタ装置で作製したものよりも大きく,CFASのスピン分極率が大きくなっている可能性がある.
英文要約We investigated structural and magnetic properties of Co2FeAl0.5Si0.5,Co2Fe0.5Ti0.5Ga,Co2Ti0.5 Mn0.5Ga,Co2Ti0.5 Mn0.5Al full Heusler alloy films, and also examined the TMR effect of MTJs with Co2FeAl0.5Si0.5 and Co2Ti0.5 Mn0.5Al electrodes. It is found that L21 structure was obtained for a Co2Ti0.5 Mn0.5Al film over 600℃ annealing, however, the MR ratio for a MTJ with this electrode was less than 1%. The Co2FeAl0.5Si0.5 film fabricated by MBE show the almost the same structural and magnetic properties as those fabricated by sputtering. The MR ratio for a MTJ with this electrode was larger than that fabricated by sputtering. This result indicates the possibility of higher spin polarization of Co2FeAl0.5Si0.5 fabricated by MBE.
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