成果報告書詳細
管理番号100013449
タイトル平成19年度成果報告書 平成19年度採択産業技術研究助成事業 07A23009d 反応現像画像形成に基づく高性能感光性エンジニアリングプラスチックの開発 平成19年度中間
公開日2009/3/27
報告書年度2007 - 2007
委託先名国立大学法人横浜国立大学大山俊幸
プロジェクト番号P00041
部署名研究開発推進部
和文要約1.ポジ型RDPへの化学増幅機構の適用を検討した結果、スルホン酸アルキルエステル型酸増幅剤を使用した場合に良好な結果が得られることを明らかにした。また、酸増幅剤の構造などを最適化した結果、従来のポジ型RDPと比較して、感光剤量をポリマーに対して30wt%→5wt%、感度を2000mJ/cm2→125mJ/cm2とすることに成功した。2.アルカリ水溶液含有現像液での現像が可能なネガ型RDPにおいて、塩基増殖剤をアニオン増幅剤と併用することにより、感光剤使用量の低減(15wt%→10wt%)およびパターン形状の向上を達成した。3.従来は現像液への有機溶媒(N-メチルピロリドン(NMP))の添加が必要であったネガ型RDPについて、現像液からのNMPの削減に成功し、より環境負荷の小さい現像液系での現像を可能にした。4.「化学増幅型RDP」と「ネガ型RDP」の併用が可能であることを見出した。
英文要約1. Chemical amplification with alkyl sulfonates as acid amplifiers was successfully applied to positive-tone RDP. Optimization of structure of acid amplifiers and conditions resulted in much improvement in the amount of the photosensitive agent and sensitivity. 2. The amount of the photosensitive agent in negative-tone RDP was reduced by combining acid proliferating agent with anion amplifier. 3. Organic solvent (N-methylpyrrolidone) was successfully eliminated from developer solution of negative-tone RDP. 4. Chemical amplification could be combined with negative-tone RDP to give a photosensitive polyimide with the reduced of the photosensitive agent and high sensitivity.
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