成果報告書詳細
管理番号100013650
タイトル平成17年度-平成19年度成果報告書 平成17年度第2回採択産業技術研究助成事業 05A24504d プリフォーム還元法による電子材料用ニオブおよびタンタル粉末の新製造法 平成19年度最終
公開日2009/4/24
報告書年度2005 - 2007
委託先名国立大学法人東京大学岡部徹
プロジェクト番号P00041
部署名研究開発推進部
和文要約本年度においては、(半)連続化が可能な手法の要素開発を試みたが、現時点では手法の開発には至っていない。装置の大型化に関しては、昨年度に作製したφ100mm径の大型反応容器を用いて種々の還元条件でNbおよびTa粉末を製造し、得られた粉末の分析・評価を、各種分析装置(ICP,EDS,XRF,EPMA)による化学分析、電子顕微鏡(SEM)やレーザー散乱粒度分布測定装置による粒度分布測定と、比表面積測定装置による比表面積測定により行った。その結果、大型の容器に複数のプリフォームを設置した場合でも、Mg-Ag液体合金を還元剤のMg蒸気の供給源とした際には、平均粒径が1μm以下で、かつ、粒度分布の幅0.5μm以下の均一な粒度のNb粉末を製造することに成功し、本プロセスの大型化および量産化への可能性を示した。
英文要約Production of niobium and tantalum powder was investigated in large scale. The metal powder produced from multiple preforms in the large reaction vessel was evaluated by ICP, EDS, XRF, EPMA, SEM, PSD, and SSA. When using Mg-Ag alloy as a source of Mg reductant gas, all of the metal powder produced from different preform has the mean particle diameter under 1 micro meter and the size distribution under 0.5 micro meters, as well as that produced solely in the vessel. These results demonstrated the feasibility of the preform reduction process for a large-scale operation.
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