成果報告書詳細
管理番号100013654
タイトル平成17年度-平成19年度成果報告書 平成17年度第2回採択産業技術研究助成事業 05A25513a 活性酸素を内包する固体酸化物を利用した新規酸化・環境浄化プロセス 平成19年度最終
公開日2009/4/24
報告書年度2005 - 2007
委託先名国立大学法人東京工業大学林克郎
プロジェクト番号P00041
部署名研究開発推進部
和文要約ジルコニア細管の直接通電加熱によって省電力で高温を得て、その部位から高密度の原子状酸素が放出される現象を発見した。この現象の特性を詳細に測定すると共に、原子状酸素による表面酸化の効力を実証した。放出流束は1017 atoms/cm2/sにも達し、従来の高周波プラズマ型酸素ラジカル源と比較して高い性能を有している。しかし、放射状の放出特性を持つため、照射流束は一桁ほど劣る。高周波電源や・冷却系が不要である特徴を生かした、高真空プロセス向けプロトタイプを試作した。
英文要約High-density emission of atomic oxygen from zirconia surface was found at the first time. Direct Joule heating was employed to heat the zirconia to ultra-high temperature with low electricity consumption. The ability of surface oxidation by atomic oxygen irradiation was demonstrated. Emission flux reached to as high as 1017 atoms/cm2/s, which is higher than those of conventional high-frequency plasma-type atomic oxygen source. However, the irradiation flux was less by one order of magnitude owing to a radiant emission property. A prototype for high-vacuum process was created.
ダウンロード成果報告書データベース(ユーザ登録必須)から、ダウンロードしてください。

▲トップに戻る