成果報告書詳細
管理番号20090000000131
タイトル平成19年度成果報告書 平成18年度第2回採択産業技術研究助成事業 06A29501d 単純形体に基づくピッチマスターゲージとそのナノレベル測定技術の開発 平成19年度中間
公開日2009/7/16
報告書年度2007 - 2007
委託先名独立行政法人産業技術総合研究所大澤尊光
プロジェクト番号
部署名研究開発推進部 若手研究グラントグループ
和文要約前年度,設計・製作した磁力ならびにばね力を使用した2種類のピッチマスターゲージの安定性評価を実施し,0.1 μm以下の繰り返し再現性を得た.また,新たに前年度の構造とは異なるピッチマスターゲージを製作し,その高精度かつ効率的な校正手法の提案とその実証及び不確かさ算出法を考案した.その結果,座標測定機を用いて0.2 μm以下の不確かさでゲージ校正できることを確認した.さらに,校正したピッチマスターゲージを歯車測定機にて測定した際の実用性確認とその際の不確かさ算出法を考案した.その結果,0.5 μm程度の不確かさで歯車測定機を評価することができ,その実用性が確認された.
英文要約We evaluated the stability the artifacts manufactured in FY2006 by using a coordinate measuring machine and obtained less than 0.1 um stability. We also developed two new artifacts. The concept was different from that of the previous artifacts. We established a new calibration technique with precision of the artifact and estimated the uncertainty of the calibration. Moreover, we verified the application capability of the artifact for a conventional gear measuring instrument and estimated the uncertainty of the measurement. As a result, we are able to evaluate the gear measuring instrument with less than 0.5 um uncertainty.
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