成果報告書詳細
管理番号20090000000148
タイトル平成20年度成果報告書 エネルギー使用合理化技術戦略的開発/エネルギー使用合理化技術実証研究/照明用量産型有機ELパネル製造技術の研究開発(継続研究)
公開日2009/7/30
報告書年度2008 - 2008
委託先名三菱重工業株式会社
プロジェクト番号P03033
部署名省エネルギー技術開発部 研究開発グループ
和文要約有機ELは、エネルギー効率が高く、しかも水銀などの有害物質を含まない“蛍光灯に代わる次世代照明用光源”としての用途が期待され、既に、効率は白熱灯を超えるレベルに達し、有機ELパネルを白熱灯代替照明として製品化することによる省エネルギー効果が期待できる状況になりつつある。しかし、有機ELパネルを照明用として普及するには、安価にパネルを製造するための量産技術を開発する必要がある。そこで、平成18年度から19年度にかけて、実証研究を行い、(1)生産能力を高くするための基板の大面積化に必要なスケールアップ技術、及び、(2)生産効率をあげるための歩留まり向上技術を確立し、パネル製造コストを、現行のクラスタ方式に比べ1/10以下に低減できる見通しを得た。しかし、照明用有機ELパネルの本格量産に向けた成膜装置を市場投入するためには、長期間の使用に耐えうる信頼性の高い装置が必要となる。そこで、本研究では、実証研究で取得した技術成果の早期実用化を図るために、実証研究業務で試作した量産型ベースモデル機を活用して、長期間の成膜特性評価・搬送ラインの発塵量評価を行い、耐久性及び安定性の検証を行った。また、実証研究で用いた材料と物性の異なる材料を用いて、量産型ベースモデル機の各種有機EL材料への適用性検証を行い、量産装置としての実用性、信頼性を高めた。
英文要約Title: Development for mass production type manufacturing technology of OLED panel used for lighting(FY2008) Final Report
It is anticipated that an organic light-emitting diode (OLED) can be used as “A next-generation lightning source for an alternative to fluorescent” that has higher energy efficiency and that does not contain hazardous substance such as mercury; and OLED has already surpassed incandescent lamp in energy efficiency. And thus, its development is getting to the stage where the commercialization of OLED panels can be expected as an alternative to incandescent lamps to have a beneficial effect on energy conservation. It is, however, indispensable to develop mass production technology for producing panels at a low cost in order to spread use of OLED panels for lightning. Accordingly, the experimental study was carried out in Fiscal Years 2007- 2008, so that (1) Scale-up technology needed for substrates growing in size so as to increase the production capacity and (2) Technology for boosting yield ratio so as to increase the production efficiency have been established. The outlook for reducing a panel-production cost to less than one tenth of the one produced by the existing cluster method has cleared. The said equipment is absolutely necessary to possess long-term durability and higher reliability to bring to the market of the deposition equipment intended for full-scale mass production of OLED panels for lightning. This study was intended to put to practical use of technical results achieved by the former experimental study and, therefore, evaluations of long-term deposition characteristic and the level of dust particle generation in carrier-line system have been made by use of mass production type of base-model equipment. Then, verification of its durability and stability have been conducted. Moreover, the verification of mass production type of base-model equipment to various OLED materials has been conducted by using materials with different physicality from the materials having been used by the experimental study so that its usefulness and reliability have been enhanced.
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