成果報告書詳細
管理番号20090000000219
タイトル平成17年度-平成19年度成果報告書 平成17年度第2回採択産業技術研究助成事業 05A12716a 強磁場・高分解能垂直磁気記録用プレーナー記録ヘッドの開発 平成19年度最終
公開日2009/8/1
報告書年度2005 - 2007
委託先名秋田県産業技術総合研究センター伊勢和幸
プロジェクト番号P00041
部署名研究開発推進部 若手研究グラントグループ
和文要約100nm以下の狭トラック幅を実現する手法として、電子ビーム描画装置を用い、アンダーカットの少ない微小Siテンプレートの形成技術をほぼ構築した。この微小テンプレート形成技術をこれまで検討してきたプレーナー記録ヘッドの作製プロセスに適用して、狭トラック幅ヘッドの実現に向けて試作を行い、主要な構成要素の作製をほぼ終え、狭トラック幅ヘッドの完成の可能性が得られた。
英文要約Using electron beam exposure for realizing the narrow write track width, the sub-micron template formation technology of the chemically etched Si without undercuts etching was built. This template technology was applied to the planar head process, and a prototype head was in prospect.
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