成果報告書詳細
管理番号20090000000735
タイトル平成18年度-平成20年度成果報告書 高集積・複合MEMS製造技術開発事業 「高集積・複合MEMS知識データベースの整備」
公開日2010/2/16
報告書年度2006 - 2008
委託先名財団法人マイクロマシンセンター
プロジェクト番号
部署名機械システム技術開発部
和文要約わが国のMEMS技術は、これまで微小三次元構造加工による単機能MEMSデバイスを中心に進展してきたことから、今後の成長が期待される高集積・複合MEMSの基盤製造技術に関し、科学技術的知見の更なる系統的な蓄積、整理が必要となっている。そこで本研究開発では、高度MEMSの開発を目指す様々な産業界の技術者を支援するために、「高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト」の全研究項目の研究開発を通じて得られた製造技術に関わる知見、研究成果等の知識データ、および当該分野に優れた知見を有する大学の研究開発成果から得られる主要な知識データを体系的に収集、整備した高集積・複合MEMS知識データベースの構築を実施した。構築した知識データベースは、プロジェクト終了後にウェブを通じてわが国産業界に広く公開するとともに、「MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクト」の成果であるMEMS用設計解析支援システム(MemsONE)に付加することにより効果的な普及を目指す。
事業の成果
 ・高集積・複合MEMS製造技術に関わる知識データの収集、整理
 高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクトに参画した事業者(委託及び助成)の研究開発成果(研究データ、科学的知見、および文献情報)、再委託した大学の研究開発の成果、および(財)マイクロマシンセンター(以下MMCという)が国内外の学会等で収集した発表論文、技術文献等について、本プロジェクトの研究キーワードで分類した知識データ(1557件)として体系的にデータベース化を行った。また、本プロジェクトに関わる特許情報として、2000年以降の国内公開特許、米国登録特許、およびPCT公開特許を調査し、抽出した4574件を本プロジェクトの研究開発項目で分類して、データベースに実装した。さらに、特許出願件数の多いMEMS/半導体の一体形成技術およびMEMS/MEMSの高集積結合技術については、主要な企業、研究機関の出願動向をまとめた分析資料集を作成し、これらをデータベースに実装した。
 ・知識データの研究開発
 助成事業対象の研究内容に関する知識データの収集を補完するため、大学研究室へ以下の研究開発を再委託することにより、それらの成果として知識データ(456件)を収集し、データベースに実装した。
1.MEMS/半導体におけるプロセス統合モノリシック技術に関する知識データベースの研究開発
2.高集積化MEMS解析手法に関する知識データベースの研究開発
3.MEMS/半導体における高集積配線技術のための知識データベースの研究開発
4.MEMS/MEMSにおける多層接合技術のための知識データベースの研究開発
5.MEMS/MEMS結合技術のための知識データベースの研究開発
 ・高集積・複合MEMS知識データベースの構築
 高集積・複合MEMSに係わる研究者・技術者が容易に活用でき、しかも自由に知識データの追加・修正が行える環境を実現するために、インターネットを通じて複数のユーザが自由記述・閲覧可能なWebブラウザMediaWikiシステムをベースにして、知識データベースの構築を実施した。知識データの体系的格納を可能に、かつ支援できるデータベースのシステム、入力・表示・検索機能を開発した。これらの機能を搭載したシステムは、インターネット経由で知識データを収集・閲覧できる、知識データ収集用システムとして試験運用を開始し、設計検証、機能・操作性向上を図った。さらに、このデータ収集用システムは、一般ユーザのログイン・アカウント作成機能、利用規約・ガイドラインを実装して、公開用高集積・複合MEMS知識データベースの構築を完了した。また、本プロジェクトの知識データは、データ変換ツールの作成により、MemsONE知識データ形式への変換を完了した。
今後の課題
 プロジェクトで整備した高集積・複合MEMS知識データベースは、我が国の産業インフラとして普及させるため、ウェブを通じて一般公開すると共に、マイクロマシン/MEMS展などの機会を活用して、紹介する場を設ける予定である。さらに、プロジェクト参画研究者および有識者から成るMEMSPedia編纂委員会(仮称)を設置し、本データベースのより一層の充実に取り組んでいく。
英文要約The purpose of this research and development project was to provide support for the engineers in various industrial fields working to develop advanced MEMS. This was done by compiling a fine MEMS knowledge database for the systematic collection and organization of findings, research achievements and other knowledge data relating to manufacturing technology, obtained through research and development for all of the research topics of the Highly Integrated, Complex MEMS Production Technology Development Project (Fine MEMS Project), as well as the key knowledge data obtained through research and development achievements at universities that possess outstanding knowledge in this field. A database of knowledge data (over 1,500 items), classified in terms of the research keywords for this project, has been systematically compiled. Moreover, a study was conducted of domestic laid-open patents from 2000 and thereafter, in addition to patents registered in the United States and international applications published under the Patent Cooperation Treaty (PCT). Over 4,500 patents selected in the study were classified according to the research and development categories of this project to compile a database of patent information relating to the project. To create an easy-to-use environment and allow knowledge data to be freely added and revised for researchers and engineers, the knowledge database was constructed using the web browser and MediaWiki system that allows multiple users to freely contribute and view knowledge data on the Internet. Furthermore, a database system and various functions (input, display and search) were developed to enable and assist the systematic storage of knowledge data. Following the completion of the project, this knowledge database will be made available throughout the industrial world in Japan via the Internet. Moreover, to ensure its effective dissemination, the database will be added to the Open Network Engineering System for MEMS (“MemsONE”) achieved as a result of the project for a Computer-Aided Engineering System for MEMS.
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