成果報告書詳細
管理番号20100000000048
タイトル平成20年度成果報告書 平成20年度第1回採択産業技術研究助成事業 08A22207c 高真空中におけるイオン液体のエレクトロスプレーを用いた正負両極性を選択可能な高集束性クラスターイオンビーム源の開発ならびに二次イオン質量分析(SIMS)への展開 平成20年度中間
公開日2010/2/5
報告書年度2008 - 2008
委託先名独立行政法人産業技術総合研究所藤原幸雄
プロジェクト番号P00041
部署名研究開発推進部 若手研究グラントグループ
和文要約二次イオン質量分析(SIMS)における一次イオンビーム源への応用を目指し、「イオン液体(濃度100%)を用いた“帯電液滴”クラスタービーム源」の研究開発を進めた。研究開発の第一段階として、高真空中(10-5 Pa程度)におけるイオン液体のエレクトロスプレー特性を調べた。イオン液体としては、毒性が低く、比較的分子量の大きい「N, N-Diethyl-N-methyl-N-(2-methoxyethyl) ammonium bis(trifluoromethanesulfonyl) imide(分子量 426.4)」を用いた。印加電圧依存性やイオン液体の供給流量依存性を調べ、正負両極性モードにおいて、同様の安定なエレクトロスプレー特性が得られ、±1μA を超えるエレクトロスプレー電流を生成できた。得られた実験結果から、「イオン液体(濃度100%)を用いた帯電液滴クラスタービーム源」の実現に向けて、明るい見通しを得ることができた。
英文要約The electrospray characteristics of a ionic liquid were studied in a high vacuum environment with pressures around 10-5 Pa. Ionic liquids [C+A-] represent room-temperature molten salts consisting of a cation [C+] and an anion [A-], which have negligible vapor pressure and high ionic conductivity. Vacuum electrospray of pure ionic liquids does not need differential pumping systems, resulting in downsizing of beam sources. Additionally, the vacuum electrospray probably improves beam-transport efficiency, thereby increasing current density as well as beam current. The ionic liquid N,N-diethyl-N-methyl-N-(2-methoxyethyl)ammonium bis(trifluoromethanesulfonyl)imide was tested.
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