成果報告書詳細
管理番号20100000000067
タイトル平成20年度成果報告書 平成20年度第1回採択産業技術研究助成事業 08C46215a フォトニック結晶ならびに光細線導波路を用いた超小型光クロスコネクトスイッチの開発研究 平成20年度中間
公開日2010/2/19
報告書年度2008 - 2008
委託先名独立行政法人産業技術総合研究所山本宗継
プロジェクト番号P00041
部署名研究開発推進部 若手研究グラントグループ
和文要約空気/GaAs/空気スラブ型2次元フォトニック結晶を用いて電流制御型光路切り替えスイッチの試作を行った。波長1300nm帯については全長4.68umの方向性結合器スイッチを試作し、スイッチング速度2.1-4.1us、消費電力12.1mWでの動作を実現した。波長1550nm帯では全長5.77umのデバイスに対して、スイッチング速度2.5-6.5us、消費電力5.3-6.1mWでのスイッチング動作を実現した。これらは他者の類似デバイスに比較して速度、消費電力共に一桁小さい。
また、Si基板上へBCBを用いたGaAs薄膜(190nm)の形成、さらにGaAs薄膜上へのフォトニック結晶構造の試作に成功した。
英文要約We fabricated optical cross-connect switches which can be controlled by current injection based on two-dimensional photonic crystal on air/GaAs/air slab. For 1300nm wavelength region, the optical switch of which the length is 4.68um was fabricated. The switching time is 2.1 - 4.1us, and the power for switching is 12.1mW. For 1550nm wavelength region, the length of the optical switch is 5.77um. The switching time is 2.5 - 6.5us, and the operation power is 5.3 - 6.1mW. The switching time and the switching power are one digit smaller than these of other work.
We also fabricated the GaAs membrane of which thickness is 190nm on a Si wafer by utilizing BCB. The photonic crystal structure was fabricated on the membrane.
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