成果報告書詳細
管理番号20100000000169
タイトル平成20年度成果報告書 平成19年度採択産業技術研究助成事業 07A23009d 反応現像画像形成に基づく高性能感光性エンジニアリングプラスチックの開発 平成20年度中間
公開日2010/2/24
報告書年度2008 - 2008
委託先名国立大学法人横浜国立大学大山俊幸
プロジェクト番号P00041
部署名研究開発推進部 若手研究グラントグループ
和文要約1.有機溶媒成分を全く含まない水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)水溶液のみで現像が可能なネガ型RDP系を見出した。
2.ネガ型RDPにおいて、N-フェニルマレイミド(PMI)を添加しないでもパターン形成が可能な系を見出した。
3.化学増幅ネガ型RDPにおいて、一分子中に二個のカルボン酸エステルを含む酸増幅剤を使用することにより、高感度を保ったままでの露光部残膜率の向上が可能となることを見出した。
4.従来は不可能であった、ポリカーボネートへのネガ型RDPの適用が、ポリマー構造などの最適化により可能となることを見出した。
英文要約1. It was found that aqueous tetramethylammonium hydroxide (TMAH) solution was available as a developer of negative-tone RDP (NRDP).
2. NRDP systems that did not require addition of N-phenylmaleimide (PMI) were developed.
3. Introduction of acid amplifier with two carboxylate units in a molecule into NRDP systems was found to be effective for inhibiting decrease in film thickness of the exposed areas with keeping sensitivity.
4. NRDP was successfully applied to appropriately designed polycarbonates.
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