成果報告書詳細
管理番号20100000001718
タイトル平成18年度-平成21年度成果報告書 平成18年度第1回採択産業技術研究助成事業 06A27001d 外乱下においてサブ原子層レベルの感度を有する次世代QCMの開発 平成21年度最終
公開日2011/1/8
報告書年度2006 - 2009
委託先名国立大学法人東北大学安部隆
プロジェクト番号P00041
部署名研究開発推進部
和文要約本プロジェクトで開発した水晶マイクロマシニング技術の応用展開として、水晶振動子を用いたセンサ一般の加工で要求されるより複雑でかつ高精度な加工を行った。具体的には逆メサ形状とコンベックス形状を一括で生産する工程を考案し優れた振動子となることを実証した。
英文要約The quartz micromachining developed in this project was modified for realizing quartz-crystal sensors having precise and complex structures.
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