成果報告書詳細
管理番号20100000001787
タイトル平成20年度-平成21年度成果報告書 平成20年度第1回採択産業技術研究助成事業 08A22207c 高真空中におけるイオン液体のエレクトロスプレーを用いた正負両極性を選択可能な高集束性クラスターイオンビーム源の開発ならびに二次イオン質量分析(SIMS)への展開 平成21年度最終
公開日2011/1/18
報告書年度2008 - 2009
委託先名独立行政法人産業技術総合研究所藤原幸雄
プロジェクト番号P00041
部署名研究開発推進部
和文要約イオン液体のビーム特性を調べた。流量依存性を調べ、0.05μL/minにおいて200nAのビーム電流を生成できた。また、低流量の場合にはビーム生成効率が高いこともわかった。さらに、飛行時間(TOF)法によってビームを構成する荷電粒子の質量電荷比(m/z)を求めた。その結果、イオンビームは、“比較的小さいイオン成分”と“大きい帯電液滴成分”から構成されることが分かった。
英文要約Characteristics of a charged-droplet beam produced by vacuum electrospray of an ionic liquid were studied. Beam current of 200 nA was generated at 0.05μL/min. It was found that beam efficiency was higher at lower flow rate. Distribution of m/z of a charged particles in a beam was measured. It was found that the beam consists of lower m/z particles and higher m/z droplets.
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