成果報告書詳細
管理番号20100000002376
タイトル平成21年度成果報告書 平成21年度第1回採択産業技術研究助成事業 09A23003a エンジンの潤滑油粘性モニタリングや流体プラントの多点プロセス粘性計測を実現する超小型粘性MEMSセンサの開発 平成21年度中間
公開日2011/1/18
報告書年度2009 - 2009
委託先名独立行政法人産業技術総合研究所山本泰之
プロジェクト番号P00041
部署名研究開発推進部
和文要約振動粘度計の原理を応用した粘性MEMSセンサの開発に取り組んだ.初年度は,基本構造の製作方法の検証を行い,粘性センサの測定原理の検討を行った.特に,非ニュートン流体の測定が可能な新しい原理を考案したことは大きな進展である.新しい原理を組み込んだセンサを設計し,マイクロ加工技術を用いて製作可能であることを確認した.具体的には,当初の目標に対応した次の成果を得た.
目標(1)粘度測定原理の確認
・非ニュートン粘度が測定可能な形状の粘性センサを考案した.
目標(2)基本構造の製作方法の確立
・Deep-RIEなどを用いた製作方法が,実現可能であることが確認された.
目標(3)基本構造を用いた粘度測定原理の検証(山本)
・レーザードップラー変位計を導入し,テストシステムと,モックアップを構築した.
英文要約The development of viscosity MEMS sensor that applied the theory of the vibrating viscometer was conducted. The manufacturing process of the basic structure using the micro processing technology was verified. The principle of measurement of a viscous sensor was examined. Especially, a major breakthrough is new invention of measurement theory that enabled the measurement of non-Newtonian fluid. The following results corresponding to the initial goal were achieved.
・A viscous sensor of the whirl shape for non-Newton fluid was designed.
・The manufacturing method using Deep-RIE was confirmed.
・The test system introduced the laser Doppler displacement sensor was constructed.
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