成果報告書詳細
管理番号20100000002380
タイトル平成21年度成果報告書 平成21年度第1回採択産業技術研究助成事業 09A27006a 静電レンズ一体型多段ゲートフィールドエミッターによるカラムレス電子線顕微鏡の開発 平成21年度中間
公開日2011/1/18
報告書年度2009 - 2009
委託先名国立大学法人静岡大学根尾陽一郎
プロジェクト番号P00041
部署名研究開発推進部
和文要約平成21年度において主に以下の3点について研究を行い良好な成果を得た.
・従来の5段型ゲートフィールドエミッター(FEA)のビームスポット径を詳細に評価する為に,改良型ナイフエッジビームプロファイル評価装置を構築した.これにより5段型ゲートFEAの収束特性を評価したこの結果,1mmの作動距離で分解能40um以下のビーム径である事がわかった.
・更なるビーム径の縮小化に効果のある新構造として“サプレッサ”を発案し,その作製・評価を行った.
・現在,仕様を満足する構造として7段型ゲートFEAを想定している.デバイス作製時に問題となるエミッタ高さを現行の1umから3umに変更した.しかし,この際エッチングによるファセットの発生が問題となったが,新プロセスの開発し面方位の抑制に成功した.
英文要約The obtained research results in 2009 are described in follows.
The enhanced knife edge method was developed to evaluate an electron beam profile from the former 5 gated FEA.
It was clarified that the focused beam diameter was less than 40 um at the distance of 1mm.
The newly designed suppressor was introduced to control emission angle.
The 3 um height field emitter was successfully fabricated by using new developed processes.
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