成果報告書詳細
管理番号20110000000567
タイトル平成18年度~平成21年度成果報告書 平成18年度第2回採択産業技術研究助成事業 06A29501d 単純形体に基づくピッチマスターゲージとそのナノレベル測定技術の開発 平成21年度最終
公開日2011/5/17
報告書年度2006 - 2009
委託先名独立行政法人産業技術総合研究所大澤尊光
プロジェクト番号P00041
部署名研究開発推進部
和文要約本年度は,一般的な歯車測定機への使用を考慮し,センター付きのピッチマスターゲージを製作し,その評価を実施した.その結果,センター取り付け誤差を含めた測定機のピッチ測定誤差を検証できることを確認した.光学式角度センサによるピッチ校正システムを完成し,その有効性を確認した.小モジュール歯車評価用のピッチマスターを三軸レーザ干渉計搭載の超高精度座標測定機にて測定,昨年度まで開発したマルチ測定法による結果と比較し,数十nmオーダで一致することを確認した.これにより,本ゲージの経年変化が実用レベルでは無いことを確認した.
英文要約We developed a new pitch master gauge with an arbor due to easy handling for a conventional gear measuring instrument and evaluated the gauge. As a result, we confirmed that the gauge could evaluate not only the pitch measurement error of the gear measuring instrument, but also alignment error of the gauge. And we developed a new calibration system for pitch master gauges using an angle sensor and confirmed the availability of the system.
We calibrated a small module pitch master gauge by using a super accurate coordinate measuring machine with three interferometers and compared the measured result from the machine with the result from using multiple orientation method. Consequently, we obtained sub micro meter level agreement.
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