成果報告書詳細
管理番号20110000000965
タイトル平成21年度成果報告書 平成21年度第2回採択産業技術研究助成事業 09C46574a 自律型自己組織化液体ナノプロセス・装置の開発 平成21年度中間
公開日2011/6/23
報告書年度2009 - 2009
委託先名国立大学法人大阪大学是津信行
プロジェクト番号P00041
部署名研究開発推進部
和文要約100x100mm2基板対応プロトタイプ機を作製し、成膜領域におけるナノ粒子濃度の計測および自動制御システムの構築をおこなった。静電容量プローブの位置情報をナノ粒子濃度計測値からサブストラクトすることにより、達成目標としていた、金属ナノ粒子1.0vol.%の濃度変化を10μsで検出可能となった。
 液相法で合成した、平均粒子径5nmの白金ナノ粒子を、50x50 mm2の範囲において、均一な密度で集積した単層膜を再現よく作製することができるようになった。集積密度は、5.0x10^11 cm-2に到達したことから、目標値を達成することができた。
 ナノ粒子デバイスへの応用として、ナノドットフローティングゲートメモリの開発をおこなった。ゲート電圧の印加にともなったナノドット内への電荷の充放電に基づいたフラットバンドシフトを観測した。20個の素子を作製したところ、素子間のバラつきが10%以内に抑制されていたことから、デバイスレベルにおいて、ナノ粒子高精度に集積されていることがわかった。
英文要約We produced prototype nano-scale coating equipment which was designed to correspond with 100x100mm2 sized substrates. By precise control of the velocity of the leading edge of a liquid slug, the volume ratio of the particles, and the deposition rate, we were able to reproducibly form an array consisting of a single layer of metal and semiconductor nanodot arrays with density of 5.0x10^11 particles/cm2. We further demonstrated the charge injection characteristics of the Au nanodot array, embedded in gate oxide. Counterclockwise hysteresis was observed reproducibly, indicating that the charging and discharging of the embedded Au nanodots. This electron confinement caused the flat-band voltage shift observed as the capacitance hysteresis.
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