株式会社FLOSFIA
高機能α-Ga2O3パワー半導体の低コスト量産化実証

事業名

ディープテック・スタートアップ支援事業

研究開発テーマ

高機能α-Ga2O3パワー半導体の低コスト量産化実証

事業概要

パワー半導体用途に特化して優れた性能を発揮する新素材α-Ga2O3（コランダム構造酸化ガリウム）を用いてパワー半導体の高機能・低コスト化技術を開発し、高機能と低コストの両立を達成する量産技術の確立や社会実装を実現することにより、電気自動車やロボット、電源、インバーターなど、多岐に渡る事業分野における電力変換ロスを削減し、市場規模の拡大を目指す。

事業内容

本研究開発では、新素材α-Ga2O3を用いたパワー半導体の高機能・低コスト化技術を開発し、デバイス構造・プロセスの最適化、信頼性評価、顧客フィードバック等による課題解決を図る。

下記に掲げる開発項目を達成することで、「高機能」・「低コスト」の重要な水準のクリアを目指す。

〔1〕小チップサイズのデバイス設計開発

〔2〕低コストプロセス設計開発

〔3〕ウエハの大口径化

〔4〕チップの小型化

〔5〕信頼性の確保

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