株式会社FOX
酸化ガリウム単結晶基板の革新的な低コスト・高品質量産技術開発
2024年8月現在
| 所在地 | 創設年 | 創設者名 |
|---|---|---|
| 宮城県仙台市 | 2024年 | 小野寺 晃 鎌田 圭 小倉 喜一 庄子 育宏 吉川 彰 富田 健稔 カチューリキン ヴラディミール |
| パートナーVC | 直近の資金調達ラウンド | 企業価値 |
|---|---|---|
| マクニカ・インベストメント・パートナーズ | シリーズA | 8.5百万円 |
- 会社連絡先：070-9002-3108
info@fox-tech.co.jp - ホームページ：株式会社FOX
事業名
ディープテック・スタートアップ支援事業
研究開発テーマ
酸化ガリウム単結晶基板の革新的な低コスト・高品質量産技術開発
事業概要
パワー半導体としてSiCよりも更に高性能が期待されるβ-Ga2O3半導体の社会実装を目的とし、単結晶基板の製造コスト低減と高品質化を実現する革新的な貴金属ルツボフリー結晶量産技術を具現化する。初段となる本フェーズでは当該製造技術により2インチφｘ2インチ長かつ低欠陥な結晶製造が可能なことを実証する。
事業内容
本事業では、貴金属ルツボを使用しない革新的な結晶量産技術を開発し、Siに匹敵する低欠陥の酸化ガリウムインゴット・基板をSiCより安価に製造する技術を実用化する。下記に掲げる開発項目を達成することで、本事業のSTSフェーズにおける全体目標である2インチφｘ2インチ長かつ低欠陥な結晶製造の実現を目指す。
- 〔1〕結晶の長尺・大口径化
- 〔2〕基板の結晶品質の向上
- 〔3〕結晶の加工技術開発
| フェーズ | 事業領域・分野 | 助成事業年度 | 交付決定額 |
|---|---|---|---|
| STS | 素材・材料 | 2024～2025年度 | 500百万円 |
最終更新日：2025年5月19日