アトナープ株式会社
半導体製造プロセス制御自動化の為のリアルタイム質量分析センサ

事業名

ディープテック・スタートアップ支援事業

研究開発テーマ

半導体製造プロセス制御自動化の為のリアルタイム質量分析センサ

事業概要

半導体プロセスのリアルタイムセンシングのための小型高性能な四重極センサおよびデータ分析・ソフトウェアによるレシピ自動生成・自動補正のための質量分析データ解析ツールにより、半導体製造装置メーカーおよび半導体製造工場の競争力を高めるソリューションを提供する。

事業内容

主要な半導体製造装置メーカーでの量産機としての採用に向けて、以下を実施する。

• ・半導体製造装置メーカーからの要求事項を明確にし、具体的な仕様を決定する。
• ・Aston Integratedの商用試作機（β版）を開発する。
• ・顧客候補における導入評価を実施し、完成度を高め、定義した助成事業期間終了時の仕様を達成する。
• ・AI学習機能を活用したデータ分析技術の確立に向け初期仕様に基づく開発を開始する。

海外技術実証

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