株式会社エアメンブレン
多層グラフェンを用いた超高透過率・高耐久 EUV ペリクルの開発
2025年11月現在
| 所在地 | 創設年 | 創設者名 |
|---|---|---|
| 茨城県つくば市 | 2017年 | 古賀 義紀 長谷川 雅考 |
| パートナーVC | 直近の資金調達ラウンド | 企業価値 |
|---|---|---|
| ー | プレシリーズA | 1,000百万円 |
- 会社連絡先：（TEL）029-869-6551
（FAX）029-869-6552 - ホームページ：株式会社エアメンブレン
事業名
GX分野のディープテック・スタートアップに対する実用化研究開発・量産化実証支援事業
研究開発テーマ
多層グラフェンを用いた超高透過率・高耐久EUVペリクルの開発
事業内容
本提案は、半導体露光装置の中核であるEUVペリクルに超薄多層グラフェン膜を適用することで、装置消費電力を1～3％削減し、歩留まり低下による廃棄ウエハを抑制します。これにより、データセンターやAIアクセラレータなど社会のあらゆるデジタルインフラでの電力需要を低減し、GX（グリーントランスフォーメーション）を加速します。
| フェーズ | 事業領域・分野 | 事業年度 | 交付決定額 |
|---|---|---|---|
| STS | 素材・材料 | 2025-2027年度 | 293百万円 |
最終更新日：2026年4月21日