東北大学で発見した 新しい原理の「ボールSAWセンサ」を応用し、微量水分計、超小型ガスクロマトグラフを製品化／ボールウェーブ株式会社

まったく新しい原理である「ボールSAW（Surface Acoustic Wave）」を世界で初めてセンサとして応用する「ボールSAWセンサ」を開発、製造しました。その最初の商品であるボールSAW微量水分計「FalconTrace」シリーズを上市しました。微量水分計は極小線幅の次世代半導体製造プロセスの高純度材料ガス中の不純物測定を目的としており、センサ製造の歩留まりの向上を目指す量産設備の開発をNEDO PCAプロジェクトにて行いました。

現在、センサヘッドの防爆認定が取得でき、各所においてテストを実施中です。

2020年初頭から流行している新型コロナウイルス感染症は、感染者の呼気に乗ってエアロゾルに含まれる多量のウイルスが環境空気中に放出されることで感染が拡大するという、これまでにない制御の困難な新規感染症であることが判明しています。現在、ウイルス検出にはPCR検査や抗原検査が用いられていますが、手間と時間がかかるという難点があります。

ボールウェーブはコア技術であるボールSAWを用いたケミカルセンサにバイオエンジニアリング技術を加えることで、空気中に漂うエアロゾルから直接ウイルスを検出するセンサの開発をNEDO TRYにより着手しています。

本記事は、2022年7月発行の広報誌Focus NEDO No.85に掲載された内容となります。