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決定「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業/先端半導体製造技術の開発」に係る実施体制の決定について

2021年3月23日

国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構(以下「NEDO」という。)は、「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業/先端半導体製造技術の開発」に係る公募を実施し、ご提案いただいた1件の提案について審査を行い、資料1のとおり実施予定先を決定いたしました。

なお、採択審査委員一覧は、資料2のとおりです。

事業内容

(1)概要

第4世代移動通信システム(4G)と比べてより高度な第5世代移動通信システム(5G)は、現在各国で商用サービスが始まっていますが、更に超低遅延や多数同時接続といった機能が強化された5G(ポスト5G)は、今後、工場や自動車といった多様な産業用途への活用が見込まれており、我が国の競争力の核となり得る技術と期待されます。

NEDOは、本事業において将来的に、ポスト5G情報通信システムで用いられる先端半導体を国内で製造できる技術を確保するため、以下の開発に取り組みます。

〔2〕 先端半導体製造技術の開発(助成)

パイロットラインの構築等を通じて、先端半導体製造プロセスのうち前工程に係る製造技術(微細化(More Moore)技術)の開発を実施します。

具体的には、2nm以降のプロセスノード※1の先端半導体において求められる高性能な露光・微細加工技術、成膜技術、アニール技術、エッチング技術、洗浄技術等のうち、特に新規開発や大幅な性能向上が必要となる製造・プロセス技術等を開発するとともに、パイロットラインの構築等を通じて、微細加工を施した実ウェハーによる製造装置の評価・検証を実施し、国内に無い先端性を持つロジック半導体の製造技術を確立します。

  • 1 IEEEのIRDS(International Roadmap for Devices and Systems)2020中の「Logic industry “Node Range” labeling(nm)」における「2.1」以降を意味する。

(2)事業期間

原則、研究開発開始から5年(60カ月)以内

参考

経済産業省のWebサイトにも採択結果を掲載しています。

詳細資料

募集要項

技術・事業分野 ネットワーク/コンピューティング プロジェクトコード P20017
事業名 ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業/先端半導体製造技術の開発
事業分類 研究(委託、共同研究、助成)
対象者 企業(団体等を含む)、大学等
問い合わせ先 IoT推進部 ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業推進室
担当者:佐々木、佐藤、稲葉
E-MAIL:post5G_semicon@ml.nedo.go.jp

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