平成21年度「ナノエレクトロニクス半導体新材料・新構造技術開発(窒化物系化合物半導体基板・エピタキシャル成長技術の開発)」の中間評価報告書
NEDOでは、研究評価委員会にてプロジェクト毎に当該技術の外部の専門家・有識者等によって構成される研究評価分科会を設置し、被評価対象プロジェクトの研究評価を行っています。
本書は、研究評価分科会において評価報告書案を策定し、研究評価委員会に諮り確定されたものです。
本書は、研究評価分科会において評価報告書案を策定し、研究評価委員会に諮り確定されたものです。
部署名 | ナノテクノロジー・材料技術開発部 | プロジェクトコード | P07030 |
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- ナノエレクトロニクス半導体新材料・新構造技術開発(窒化物系化合物半導体基板・エピタキシャル成長技術の開発)中間評価報告書