平成22年度「マスク設計・描画・検査総合最適化技術開発」の事後評価報告書

NEDOでは、研究評価委員会にてプロジェクト毎に当該技術の外部の専門家・有識者等によって構成される研究評価分科会を設置し、被評価対象プロジェクトの研究評価を行っています。
本書は、研究評価分科会において評価報告書案を策定し、研究評価委員会に諮り確定されたものです。